“零点五纳米?”
张院士跪在地上的身子猛地挺直。青筋从额角暴起,沿着太阳穴扭曲成蠕动的蚯蚓。
“全球最先进的ASmL NxE:3600d,出光精度是十三点五纳米!你张嘴就是零点五?你是在侮辱我们整个行业几十年的积累!”
张院士撑着膝盖站起来,身体摇晃了两下。旁边的中年专家赶紧搀住他的胳膊。
“老张,别跟他废话。”中年专家转头死死盯着雷建国,“雷将军,请你立刻行使军事管制权,把这个人控制起来。他不具备任何光刻机维修资质,甚至连实验室准入资格都没有。现在他要强行拆解国家唯一的战略级光学设备,这是蓄意破坏!”
雷建国站在五米外,没动。
他脑子里还回荡着十五分钟前那个画面,等离子切割枪怼上紫色晶体,一百零八块绝对标准的六棱柱齐刷刷排列在工作台上,切割面的精度超越任何已知加工手段。
“我管不了他。”雷建国吐出四个字,语调平得没有起伏。
中年专家愣住。
“你是海军少将!”
“我是海军少将。但这个厂房里发生的事,不归海军管。”雷建国往后退了一步,靠在冰冷的钛合金材料架上,双臂抱在胸前,“而且以我个人的建议,你们最好也退远一些。”
张院士甩开中年专家的手,踉跄着冲向工作台。
“谁也别想碰那些残片!”
他伸出枯瘦的手指,死死按住合金箱的边缘。那里面躺着的每一片碎渣,都是团队八年心血的凝缩。
苏毅没看他。
他伸手进箱子,五指插进那堆扭曲的金属废料和碎裂的光学镜片中间。
张院士的手扑上来,抓住苏毅的手腕。指甲掐进肉里。
“你放手!”
苏毅手腕一翻。一小把碎渣被他捞出来握在掌心。张院士的手被轻轻但不可抗拒地剥开,十根手指在空中抓了个空。
沈擎岳大步上前,一把拽住张院士的肩膀往后拉。
“老张!”
“你让开!他在毁东西!”
话没说完。
苏毅把那把碎渣举到与视线齐平的高度。掌心摊开。
微观干涉启动。
法则之力以肉眼完全无法捕捉的维度,渗透进那些破碎到分子级别的光学残渣中。
掌心上方的空气发生了极其微弱的折射。
碎渣动了。
不是被风吹的那种滚动。
是每一颗微粒自发地开始分裂、归类。碳化后的黑色杂质从渣堆中被剥离出来,凝成极细的黑色粉尘,飘往一侧。高纯度的二氧化硅微晶和钇铝石榴石碎粒,各自聚拢,泾渭分明。
两团截然不同颜色的粉末悬浮在苏毅掌心上方三公分的位置,缓慢旋转。
所有人停止了呼吸。
张院士的嘴张着,嘴唇在抖,但没有任何声音发出。
苏毅右手从腰间抽出管钳。
对着掌心下方的空气,砸了一下。
哐。
金属音爆开。管钳击打的是空气,但法则冲击波精准贯穿了悬浮的材料团。
硅晶微粒被这股力量猛然压紧。分子间距骤降。碎散的二氧化硅原子在法则的暴力编织下,重新排列成极其规整的晶格阵列。
一颗透明的微晶球在半空成型。直径不到两公分。纯度高到连光线穿过都不产生任何散射。
苏毅左手翻过来。管钳再砸。
第二下。
石榴石碎粒被同样的力量吞没。钇铝原子重组,氧键搭建,分子晶格链在纳秒级的时间内完成自组装。
第三下。
空气中的碳化杂质被一股无形的排斥力直接弹飞出三米远,落在垃圾桶里。
所有的脏东西被彻底扫除干净。
苏毅收起管钳。
两团高纯度光学材料悬浮在掌心上方。左边是无暇的硅晶微球,右边是密度极高的石榴石颗粒。材料分离完毕。
苏毅用两根手指从硅晶微球上掐下大约五分之一的量。那团透明的原子簇顺从地脱离母体,飘进苏毅随手打开的工具箱里。石榴石也被精确地掐走百分之二十,落入同一个工具箱。
他的。
合同完成。
张院士一直盯着那两团悬浮的材料。他的手在抖,但原因完全变了。
这不是愤怒,是恐惧。
他搞了一辈子极紫外光学,实验室里的超净间恒温恒湿,进去之前要穿三层防尘服过两道风淋室。光学镜片的抛光在无震动的花岗岩基座上进行,用的是原子力显微镜逐层检测。
眼前这个年轻人,用一把管钳敲了三下空气。在充满铁屑和焊渣的厂房里。隔空完成了原子级别的材料提纯和重组。
苏毅没有给他们反应的时间。
箱子里剩余的百分之八十残渣被他整个端出来,倒在钛合金工作台上。碎裂的钼硅反光镜残片、扭曲的步进导轨碎块、炸碎的锡液滴发生器微管混在一起,乱成一锅金属粥。
苏毅右手管钳往台面上一拍。
整张工作台震了一下。
法则之力从管钳的接触点呈球面扩散,穿透每一块残骸。
微观干涉全功率灌入。
那些碎得不成形的钼硅多层膜残渣,开始自发运动。一层钼原子铺展开来,厚度精确到零点二八纳米。硅原子紧跟其后,覆盖在上方。钼。硅。钼。硅。交替叠放,四十层,八十层。
法则视野下,每一层的厚度偏差不超过零点零一纳米。
圆形的多层反射镜片在钛合金台面上逐渐成型。直径三十五公分。表面绝对平坦。
中年专家浑身发僵。他机械地从随身携带的仪器箱里掏出一台便携式极紫外折射检测仪,手指哆嗦着接通电源。
张院士一把夺过检测仪。
探头对准那片正在台面上自组装的镜片表面。
数据跳出来了。
张院士的瞳仁猛然放大。
检测仪的液晶屏上,表面粗糙度的读数停在一个他从未在任何实验室、任何论文、任何国际会议报告中见过的数字。
RmS零点零零三纳米。
原厂最顶级的钼硅镜片,RmS是零点零四纳米。
差了一个数量级。
这已经不是工艺水平的差距了,这是维度上的碾压。人类用几十年极限精密加工追求的物理边界,在这张工作台上被随手踏了过去。
张院士握着检测仪的手猛地垂下。
仪器的挂绳缠在指间,他没有收。脊椎上的力气被抽空了大半,整个人往后踉跄两步,撞在身后的中年专家身上。
苏毅没抬头。
管钳在台面上又敲了一下。
步进导轨的碎块悬浮起来。扭曲的金属杆件在法则强压下被拉直,分子晶格重排。锡液滴发生器的微管在空中自动拼接、熔合,管壁内的碳化沉积物被原子级剥离。
每一个零件都在台面上方的三维空间中各就各位,逐步拼合成一台完整的极紫外光源发生器。
沈擎岳站在原地,喉结滚了一下。他见过苏毅敲钛合金、焊飞碟、砸简并态合金。但那些都是宏观层面的暴力美学。
现在这一幕完全不同。
这是在原子刻度上做外科手术。粗暴得令人窒息,精密得令人绝望。两个完全矛盾的极端,被一把破管钳统一在同一个人手上。
组装过程持续了四十分钟。
苏毅全程没说一个字。
钛合金台面上,一台完整的EUV极紫外光源发生器静静伫立着。所有构件严丝合缝。钼硅多层反射镜的表面泛着比水银更纯粹的冷光。锡液滴微管通道洁净无瑕。步进导轨的同心度精确到了人类测量设备无法验证的级别。
苏毅扔下管钳。
“接通电源测试。”
张院士被中年专家搀着往前走了两步。他用颤抖的手从仪器箱里掏出笔记本电脑,接上测试线缆。
光源启动。
极紫外光束射出。
笔记本屏幕上的波长读数定格。
十三点三纳米。
不是十三点五。比原厂设计波长短了零点二纳米。
出光精度:零点四八纳米。
比苏毅承诺的零点五,还多了零点零二纳米的余量。
张院士盯着屏幕。那双浑浊的老眼里,有什么东西碎了,又有什么东西在废墟上重新立了起来。
他转过身。腰弯下去。
不是日常的鞠躬。是几乎折叠到水平的大礼。
“苏工。”
张院士的嗓音嘶哑到几乎听不清。
“我以华国光刻机总设计师的身份,向你道歉。”
苏毅已经转过身走了。他蹲在工具箱前,把刚才掐走的那百分之二十高纯硅晶和石榴石颗粒,分别装进两个防静电袋里,塞进冲锋衣内袋。
系统面板弹出。
【修复完成。目标:第五代EUV极紫外光刻机核心光源模组。】
【获得维修点:。】
一百二十万。入账。







